[µðÁöÅПÀÓ½º °ÇØ·É ±âÀÚ] 2018³â 12¿ù 28ÀÏ °æ±â ȼº½Ã¿¡ À§Ä¡ÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ È¼º»ç¾÷Àå 12¶óÀÎ. ¿¬¸»¿¬½Ã¸¦ ÀØÀº Á÷¿øµé°ú °¢Á¾ Àåºñ°¡ ³½µåÇ÷¡½Ã ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ°í ÀÖ¾ú´Ù.
Ã౸Àå 4°³ Å©±âÀÇ °ø°£¿¡¼ õÀåÀÇ ·¹ÀÏÀ» Ÿ°í ¿þÀÌÆÛ¸¦ ½Ç¾î³ª¸£´Â ¼ö½Ê ´ëÀÇ ¿î¼ÛÀåºñ 'OHT(¿À¹öÇìµå Æ®·£½ºÆ÷ÅÍ)', ±× ¾Æ·¡ »©°îÇÏ°Ô µé¾îÂù ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñµéÀº °ø»ó°úÇпµÈÀÇ ÇÑ Àå¸éÀ» ¿¬»óÄÉ Çß´Ù. ÃÖ±Ù ºÒ°ÅÁø ¹ÝµµÃ¼ °íÁ¡ ³í¶õ µî ½ÃÀå °÷°÷¿¡¼ ³ª¿À´Â ¿ì·ÁµéÀÌ ¹«»öÇÏ°Ô ´À²¸Áú Á¤µµ·Î, »ý»ýÇÏ°í È°±âÂù ¸ð½ÀÀ̾ú´Ù.
»ý»ê ¼³ºñ¿¡¼ °¡Àå ¸ÕÀú ´«¿¡ µé¾î¿Â °ÍÀº ¿ÀÅä¹ÙÀÌ Çï¸ä ¸ð¾çÀÇ OHTÀÇ Àçºü¸¥ ¿òÁ÷ÀÓÀ̾ú´Ù. ¼ö½Ê ´ëÀÇ OHT´Â °ã°ãÀÌ ½×Àº 24ÀåÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛÇÔÀ» ½Æ°í °øÀå ÀÌ°÷Àú°÷À» È×È× ÈÖÁ£°í ´Ù³æ´Ù. ±â±âµé³¢¸® Ãæµ¹ÇÒ¶óÄ¡¸é, ¼¾¼°¡ ÀÎÁöÇØ ÀçÄ¡ÀÖ°Ô ¸ØÃ߰ųª ¹æÇâÀ» »ì¦ ¿ìȸÇÑ´Ù. OHT°¡ µµÂøÇϱ⸦ ±â´Ù¸®°í ÀÖ´ø Àåºñ´Â ÆÈÀ» Âß »¸¾î¼ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¹Þ¾Æ °øÁ¤À» ½ÃÀÛÇÑ´Ù. ¿î¼Û ÀÓ¹«°¡ ³¡³ OHT´Â ¶Ç ´Ù¸¥ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ½Æ±â À§ÇØ ¹Ù·Î À̵¿ÇÑ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡´Â µðÇ»Àü, CVD(ÁõÂø °øÁ¤), Æ÷Åä, ¿¡Ä¡, Ŭ¸®´×, ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ, ÆòźÈ, ¸ÞÅ» ÀÛ¾÷ µî Å©°Ô 8°³ÀÇ °øÁ¤ÀÌ ÀÖ´Ù. ¿©·¯ °³ÀÇ È¸·Î¸¦ ÇÑ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¾ñ¾î¾ß ÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Ư¼º»ó, ÀÌ °øÁ¤µéÀ» 300~500ȸ ¹Ýº¹ÇØ¾ß ÇÑ´Ù. ¿Ï¼ºµÈ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¸¸µé¾î³»±â±îÁö OHT´Â °¢ °øÁ¤ Àåºñµé À§¿¡¼ ¾à ÇÑ ´Þ°£ 42§°°¡·®À» ½¯ »õ ¾øÀÌ ´Þ¸°´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â "°øÁ¤ °£ µ¿¼±À» ÁÙÀÌ°í, ºñ¾îÀÖ´Â ±â±â¸¦ ã¾Æ ºü¸£°Ô ¿òÁ÷¿© °øÁ¤ ½Ã°£À» ÁÙÀÌ´Â °Íµµ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ³ëÇÏ¿ì"¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
°øÀå ¾È¿¡¼ °¢ ±â±â¸¦ Á¡°ËÇÏ´Â ¿£Áö´Ï¾îµéµµ ´«¿¡ ¶ç¾ú´Ù. À̵éÀº Èò»ö ¹æÁøº¹À» ÀÔ°í °¢ ÀåºñÀÇ »óŸ¦ Á¡°ËÇϱâ À§ÇØ ¼Õ°¡¶ôÀ¸·Î ¸ð´ÏÅÍ È¸éÀ» ºÐÁÖÇÏ°Ô Â¤À¸¸é¼ ±â±â¸¦ Á¶Á¤ÇÏ°í ÀÖ¾ú´Ù. ÀÌ°÷¿¡¼± 10¸í ³»¿ÜÀÇ °ü¸® Á÷¿øµéÀÌ ÇÑ Á¶°¡ µÇ¾î 4Á¶ 3±³´ë ¹æ½ÄÀ¸·Î 24½Ã°£ ¹ã³·¾øÀÌ °øÁ¤ »óŸ¦ È®ÀÎÇÑ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â "ÇÑ °ø°£¿¡¼ ¶È°°Àº ½ºÆåÀ» Áö´Ñ ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñµéÀÌ¶óµµ ¿, ¾Ð·Â µîÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â °ÍÀÌ ¹Ì¼¼ÇÏ°Ô ´Þ¶ó Ç°Áú¿¡ ¿µÇâÀ» Áֱ⠶§¹®¿¡, À̸¦ ²÷ÀÓ¾øÀÌ Á¡°ËÇÏ°í Á¶Á¤ÇÏ´Â °úÁ¤ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
»ý»ê ¼³ºñ ³» û°áÀ» À¯ÁöÇÏ´Â °Íµµ ´«¿¡ ¶è´Ù. 1Æò¹æÇÇÆ®(¾à 0.09§³) ¾È¿¡ 0.1 ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ(§) ÀÌÇÏÀÇ ¸ÕÁö¸¸ÀÌ Á¸ÀçÇÏ´Â 'Ŭ·¡½º 1'À» ¼ö³â° À¯ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù. °øÀå ³» ¸ÕÁö´Â ¸ðµÎ ¹Ù´Ú ¾Æ·¡·Î ºüÁö°Ô²û ¼³°èµÅ, ¸ÕÁö°¡ È𳯸®´Â °ÍÀ» ¿øõÂ÷´ÜÇß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â "ÀÏ¹Ý ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ÀåÀº Ŭ·¡½º 10~100 »çÀ̸¦ À¯ÁöÇÏ´Â °Í¿¡ ºñÇØ »ó´çÈ÷ û°áÇÑ ¼öÁØ"À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
ȼº»ç¾÷ÀåÀº ¹Ì·¡ »ç¾÷ Áغñ¿¡µµ ÇÑâÀÌ´Ù. ȼº»ç¾÷ÀåÀ¸·Î µé¾î°¡´Â ÀÔ±¸ Áß ÇϳªÀÎ 'H3' °ÔÀÌÆ®¿¡¼´Â Áö³ 2¿ù ½ÃÀÛÇÑ EUV(±ØÀڿܼ±) ³ë±¤Àåºñ »ý»ê ¶óÀÎ °ø»ç ÇöÀåÀ» º¼ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. EUV ³ë±¤Àåºñ´Â ±âÁ¸¿¡ ºÒȾƸ£°ï(ArF)±¤¿øÀ» ´ëüÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î, 5³ª³ë, 3³ª³ë µî ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ±â¼ú¿¡ ¾²ÀÌ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù.
»ÏÁ·ÇÏ°Ô ¼ÚÀº 20´ë°¡·®ÀÇ ³ë¶õ»ö Å©·¹ÀÎÀÌ ¾÷°è¿¡¼ óÀ½À¸·Î ½ÃµµµÇ´Â EUV Àü¿ë »ý»ê ¼³ºñ¸¦ ¿Ï¼ºÇϱâ À§ÇØ ¿òÁ÷ÀÌ°í ÀÖ¾ú´Ù. ÀÌ ¼³ºñÀÇ Ãʱâ ÅõÀÚ ±Ô¸ð´Â °Ç¼³ ºñ¿ëÀ» Æ÷ÇÔÇØ 2020³â±îÁö 60¾ï´Þ·¯(¾à 6500¾ï¿ø)°¡ ÅõÀڵƴÙ. ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀº Áö³ 8¿ù ȼº»ç¾÷Àå ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸¼Ò EUV °³¹ß¶óÀÎÀ» ¹æ¹®ÇØ "¹Ì·¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿ä¿¡ ´ëºñÇϱâ À§Çؼ± '±â¼ú ÃÊ°ÝÂ÷'°¡ ¹Ýµå½Ã À¯ÁöµÅ¾ß ÇÑ´Ù"¸ç Á÷¿øµéÀ» °Ý·ÁÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
2000³â ÁØ°øÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ È¼º»ç¾÷ÀåÀº 12¶óÀÎÀ» Æ÷ÇÔÇÑ 6°³ ¶óÀÎÀÌ ¿î¿µµÇ´Â 48¸¸Æò ±Ô¸ð °ø°£À¸·Î, ³½µåÇ÷¡½Ã, D·¥ ¸Þ¸ð¸® µî ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê»Ó ¾Æ´Ï¶ó Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸°³¹ßµµ ÁøÇàµÈ´Ù. ÀÌ »ç¾÷Àå¿¡¸¸ ¾à 2¸¸5000¸íÀÇ Á÷¿øµéÀÌ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê°ú °³¹ß¿¡ ¸ÅÁøÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ÃÊȣȲ¿¡ ÈûÀÔ¾î Áö³ÇØ 3ºÐ±â ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 17Á¶5700¾ï¿øÀ¸·Î ½ÇÀû '½Å±â¿ø'À» ´Þ¼ºÇß´ø »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ÀåÀº, ÀÌ·¸µí ¿¬¸»¿¬½Ã¸¦ °¡¸®Áö ¾Ê°í 2019³âÀ» ¸ÂÀÌÇÏ°í ÀÖ¾ú´Ù.°ÇطɱâÀÚ strong@dt.co.kr
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]
Ã౸Àå 4°³ Å©±âÀÇ °ø°£¿¡¼ õÀåÀÇ ·¹ÀÏÀ» Ÿ°í ¿þÀÌÆÛ¸¦ ½Ç¾î³ª¸£´Â ¼ö½Ê ´ëÀÇ ¿î¼ÛÀåºñ 'OHT(¿À¹öÇìµå Æ®·£½ºÆ÷ÅÍ)', ±× ¾Æ·¡ »©°îÇÏ°Ô µé¾îÂù ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñµéÀº °ø»ó°úÇпµÈÀÇ ÇÑ Àå¸éÀ» ¿¬»óÄÉ Çß´Ù. ÃÖ±Ù ºÒ°ÅÁø ¹ÝµµÃ¼ °íÁ¡ ³í¶õ µî ½ÃÀå °÷°÷¿¡¼ ³ª¿À´Â ¿ì·ÁµéÀÌ ¹«»öÇÏ°Ô ´À²¸Áú Á¤µµ·Î, »ý»ýÇÏ°í È°±âÂù ¸ð½ÀÀ̾ú´Ù.
»ý»ê ¼³ºñ¿¡¼ °¡Àå ¸ÕÀú ´«¿¡ µé¾î¿Â °ÍÀº ¿ÀÅä¹ÙÀÌ Çï¸ä ¸ð¾çÀÇ OHTÀÇ Àçºü¸¥ ¿òÁ÷ÀÓÀ̾ú´Ù. ¼ö½Ê ´ëÀÇ OHT´Â °ã°ãÀÌ ½×Àº 24ÀåÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛÇÔÀ» ½Æ°í °øÀå ÀÌ°÷Àú°÷À» È×È× ÈÖÁ£°í ´Ù³æ´Ù. ±â±âµé³¢¸® Ãæµ¹ÇÒ¶óÄ¡¸é, ¼¾¼°¡ ÀÎÁöÇØ ÀçÄ¡ÀÖ°Ô ¸ØÃ߰ųª ¹æÇâÀ» »ì¦ ¿ìȸÇÑ´Ù. OHT°¡ µµÂøÇϱ⸦ ±â´Ù¸®°í ÀÖ´ø Àåºñ´Â ÆÈÀ» Âß »¸¾î¼ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¹Þ¾Æ °øÁ¤À» ½ÃÀÛÇÑ´Ù. ¿î¼Û ÀÓ¹«°¡ ³¡³ OHT´Â ¶Ç ´Ù¸¥ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ½Æ±â À§ÇØ ¹Ù·Î À̵¿ÇÑ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡´Â µðÇ»Àü, CVD(ÁõÂø °øÁ¤), Æ÷Åä, ¿¡Ä¡, Ŭ¸®´×, ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ, ÆòźÈ, ¸ÞÅ» ÀÛ¾÷ µî Å©°Ô 8°³ÀÇ °øÁ¤ÀÌ ÀÖ´Ù. ¿©·¯ °³ÀÇ È¸·Î¸¦ ÇÑ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¾ñ¾î¾ß ÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Ư¼º»ó, ÀÌ °øÁ¤µéÀ» 300~500ȸ ¹Ýº¹ÇØ¾ß ÇÑ´Ù. ¿Ï¼ºµÈ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¸¸µé¾î³»±â±îÁö OHT´Â °¢ °øÁ¤ Àåºñµé À§¿¡¼ ¾à ÇÑ ´Þ°£ 42§°°¡·®À» ½¯ »õ ¾øÀÌ ´Þ¸°´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â "°øÁ¤ °£ µ¿¼±À» ÁÙÀÌ°í, ºñ¾îÀÖ´Â ±â±â¸¦ ã¾Æ ºü¸£°Ô ¿òÁ÷¿© °øÁ¤ ½Ã°£À» ÁÙÀÌ´Â °Íµµ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ³ëÇÏ¿ì"¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
°øÀå ¾È¿¡¼ °¢ ±â±â¸¦ Á¡°ËÇÏ´Â ¿£Áö´Ï¾îµéµµ ´«¿¡ ¶ç¾ú´Ù. À̵éÀº Èò»ö ¹æÁøº¹À» ÀÔ°í °¢ ÀåºñÀÇ »óŸ¦ Á¡°ËÇϱâ À§ÇØ ¼Õ°¡¶ôÀ¸·Î ¸ð´ÏÅÍ È¸éÀ» ºÐÁÖÇÏ°Ô Â¤À¸¸é¼ ±â±â¸¦ Á¶Á¤ÇÏ°í ÀÖ¾ú´Ù. ÀÌ°÷¿¡¼± 10¸í ³»¿ÜÀÇ °ü¸® Á÷¿øµéÀÌ ÇÑ Á¶°¡ µÇ¾î 4Á¶ 3±³´ë ¹æ½ÄÀ¸·Î 24½Ã°£ ¹ã³·¾øÀÌ °øÁ¤ »óŸ¦ È®ÀÎÇÑ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â "ÇÑ °ø°£¿¡¼ ¶È°°Àº ½ºÆåÀ» Áö´Ñ ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñµéÀÌ¶óµµ ¿, ¾Ð·Â µîÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â °ÍÀÌ ¹Ì¼¼ÇÏ°Ô ´Þ¶ó Ç°Áú¿¡ ¿µÇâÀ» Áֱ⠶§¹®¿¡, À̸¦ ²÷ÀÓ¾øÀÌ Á¡°ËÇÏ°í Á¶Á¤ÇÏ´Â °úÁ¤ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
»ý»ê ¼³ºñ ³» û°áÀ» À¯ÁöÇÏ´Â °Íµµ ´«¿¡ ¶è´Ù. 1Æò¹æÇÇÆ®(¾à 0.09§³) ¾È¿¡ 0.1 ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ(§) ÀÌÇÏÀÇ ¸ÕÁö¸¸ÀÌ Á¸ÀçÇÏ´Â 'Ŭ·¡½º 1'À» ¼ö³â° À¯ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù. °øÀå ³» ¸ÕÁö´Â ¸ðµÎ ¹Ù´Ú ¾Æ·¡·Î ºüÁö°Ô²û ¼³°èµÅ, ¸ÕÁö°¡ È𳯸®´Â °ÍÀ» ¿øõÂ÷´ÜÇß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â "ÀÏ¹Ý ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ÀåÀº Ŭ·¡½º 10~100 »çÀ̸¦ À¯ÁöÇÏ´Â °Í¿¡ ºñÇØ »ó´çÈ÷ û°áÇÑ ¼öÁØ"À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
ȼº»ç¾÷ÀåÀº ¹Ì·¡ »ç¾÷ Áغñ¿¡µµ ÇÑâÀÌ´Ù. ȼº»ç¾÷ÀåÀ¸·Î µé¾î°¡´Â ÀÔ±¸ Áß ÇϳªÀÎ 'H3' °ÔÀÌÆ®¿¡¼´Â Áö³ 2¿ù ½ÃÀÛÇÑ EUV(±ØÀڿܼ±) ³ë±¤Àåºñ »ý»ê ¶óÀÎ °ø»ç ÇöÀåÀ» º¼ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. EUV ³ë±¤Àåºñ´Â ±âÁ¸¿¡ ºÒȾƸ£°ï(ArF)±¤¿øÀ» ´ëüÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î, 5³ª³ë, 3³ª³ë µî ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ±â¼ú¿¡ ¾²ÀÌ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù.
»ÏÁ·ÇÏ°Ô ¼ÚÀº 20´ë°¡·®ÀÇ ³ë¶õ»ö Å©·¹ÀÎÀÌ ¾÷°è¿¡¼ óÀ½À¸·Î ½ÃµµµÇ´Â EUV Àü¿ë »ý»ê ¼³ºñ¸¦ ¿Ï¼ºÇϱâ À§ÇØ ¿òÁ÷ÀÌ°í ÀÖ¾ú´Ù. ÀÌ ¼³ºñÀÇ Ãʱâ ÅõÀÚ ±Ô¸ð´Â °Ç¼³ ºñ¿ëÀ» Æ÷ÇÔÇØ 2020³â±îÁö 60¾ï´Þ·¯(¾à 6500¾ï¿ø)°¡ ÅõÀڵƴÙ. ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀº Áö³ 8¿ù ȼº»ç¾÷Àå ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸¼Ò EUV °³¹ß¶óÀÎÀ» ¹æ¹®ÇØ "¹Ì·¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿ä¿¡ ´ëºñÇϱâ À§Çؼ± '±â¼ú ÃÊ°ÝÂ÷'°¡ ¹Ýµå½Ã À¯ÁöµÅ¾ß ÇÑ´Ù"¸ç Á÷¿øµéÀ» °Ý·ÁÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
2000³â ÁØ°øÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ È¼º»ç¾÷ÀåÀº 12¶óÀÎÀ» Æ÷ÇÔÇÑ 6°³ ¶óÀÎÀÌ ¿î¿µµÇ´Â 48¸¸Æò ±Ô¸ð °ø°£À¸·Î, ³½µåÇ÷¡½Ã, D·¥ ¸Þ¸ð¸® µî ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê»Ó ¾Æ´Ï¶ó Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸°³¹ßµµ ÁøÇàµÈ´Ù. ÀÌ »ç¾÷Àå¿¡¸¸ ¾à 2¸¸5000¸íÀÇ Á÷¿øµéÀÌ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê°ú °³¹ß¿¡ ¸ÅÁøÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ÃÊȣȲ¿¡ ÈûÀÔ¾î Áö³ÇØ 3ºÐ±â ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 17Á¶5700¾ï¿øÀ¸·Î ½ÇÀû '½Å±â¿ø'À» ´Þ¼ºÇß´ø »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ÀåÀº, ÀÌ·¸µí ¿¬¸»¿¬½Ã¸¦ °¡¸®Áö ¾Ê°í 2019³âÀ» ¸ÂÀÌÇÏ°í ÀÖ¾ú´Ù.°ÇطɱâÀÚ strong@dt.co.kr
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]