[µðÁöÅПÀÓ½º ¹ÚÁ¤ÀÏ ±âÀÚ] »ï¼ºÀüÀÚ°¡ º§±â¿¡¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É ¼ÒÀç ÀϺθ¦ Á¶´Þ¹Þ±â ½ÃÀÛÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ÀϺ»ÀÇ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÇٽɼÒÀç ¼öÃâ ±ÔÁ¦ Á÷ÈÄ ÀÌÀç¿ë ºÎȸÀåÀÇ ÁøµÎÁöÈÖ ÇÏ¿¡ À§±â°æ¿µ¿¡ µé¾î°£ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¹ß ºü¸£°Ô ÇÙ½É ¼ÒÀç °ø±Þó ´Ùº¯È¿¡ ¼º°øÇÏ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸¿© ÁÖ¸ñµÈ´Ù.
11ÀÏ ÀϺ» °æÁ¦Àü¹® ¸Åü '´ÖÄÉÀÌ ¾Æ½Ã¾È ¸®ºä' º¸µµ¿¡ µû¸£¸é »ï¼ºÀüÀÚ´Â º§±â¿¡¿¡ ÀÖ´Â ÇÑ ¾÷ü¿¡¼ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» ±×¸®´Â µ¥ ¾²ÀÌ´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(°¨±¤¾×)¸¦ °ø±Þ¹ÞÀº °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
ÀÌ ¸Åü´Â ¹ÚÀç±Ù ÇѾç´ëÇб³ À¶ÇÕÀüÀÚ°øÇкΠ±³¼ö¸¦ ÀοëÇØ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÀÌ ÈÇй°ÁúÀ» 6~10°³¿ù ´ÜÀ§ ¹°·®À¸·Î ±¸ÀÔÇÏ°í ÀÖ´Ù°í º¸µµÇß´Ù. ¹Ú ±³¼ö´Â ÀÌ ¾÷üÀÇ À̸§À» °ø°³ÇÏÁö ¾Ê¾ÒÁö¸¸, ÀÌ ¸Åü´Â ÀϺ» ±â¾÷ JSR¿Í º§±â¿¡ ¿¬±¸¼¾ÅÍ IMEC°¡ 2016³â ¼³¸³ÇÑ ÇÕÀÛ¹ýÀÎ EUV·¹Áö½ºÆ®ÀÏ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤Çß´Ù. ÀÌ ÇÕÀÛȸ»çÀÇ ÃÖ´ë ÁÖÁÖ´Â JSRÀÇ º§±â¿¡ ÀÚȸ»çÀÎ JSR¸¶ÀÌÅ©·Î´Ù.
´ÖÄÉÀÌ ¾Æ½Ã¾È ¸®ºä´Â JSR »çÁ¤¿¡ ¹àÀº ÇÑ ¼Ò½ÄÅëÀÌ ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ Á¶Ä¡°¡ ¹ßÇ¥µÈ ÈÄÀÎ Áö³ 7¿ù Áß¼ø "¿ì¸®´Â º§±â¿¡ ÇÕÀÛ¹ýÀÎÀ» ÅëÇØ »ï¼º¿¡ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ °ø±ÞÇÒ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù¸é¼, ¹Ú ±³¼öÀÇ ¾ð±ÞÀº ÀÌ ¸»À» µÞ¹ÞħÇÑ´Ù°í ÀüÇß´Ù. ÀÌ ¸Åü´Â ´Ù¸¸ ÀϺ» ±â¾÷ÀÌ Á¦3±¹ÀÇ ½Ã¼³À» ÅëÇØ Çѱ¹¿¡ ±ÔÁ¦ Ç°¸ñÀ» °ø±ÞÇÏ´Â °ÍÀº ÇÕ¹ýÀûÀ̾î¾ß ÇÑ´Ù¸ç ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ °¨½Ã¸¦ ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ´Ù°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ÀϺ» °æÁ¦»ê¾÷¼º(°æ»ê¼º)ÀÌ Áö³´Þ 4ÀϺÎÅÍ Çѱ¹¿¡ ´ëÇÑ 1Â÷ ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ °¡ÇÑ ÀÌÈÄ ±ÔÁ¦ ´ë»óÀÌ µÈ 3°³ °¡¿îµ¥ ù ¹ø°·Î Çã°¡°¡ ³ª¿Â Ç°¸ñÀÌ´Ù. ÀÌ¿Í °ü·Ã, °æ»ê¼ºÀº Áö³ 8ÀÏ °³º° ¼öÃâ ½ÅûÀÌ µé¾î¿Â »ï¼ºÀüÀÚ¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâ°Ç¿¡ ´ëÇØ ±º»çÀü¿ë ¿ì·Á°¡ ¾ø´Ù°í ÆÇ´ÜÇØ Åë»ó ½É»ç ±â°£(90ÀÏ)À» ´ëÆø ´ÜÃàÇØ ÇÑ ´Þ¿© ¸¸¿¡ ½ÂÀÎÇß´Ù°í ÀÌ·ÊÀûÀ¸·Î ¹ßÇ¥Çß¾ú´Ù.
°æ»ê¼ºÀº ¿¹»óº¸´Ù ºü¸¥ Çã°¡¸¦ ³»ÁÖ¸é¼ ¿ä°ÇÀÌ ¸ÂÀ¸¸é ±ÔÁ¤¿¡ µû¶ó ¼öÃâ ½ÂÀÎÀ» °è¼Ó ³»ÁÙ °ÍÀ̶ó¸ç ÀϺ»ÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦°¡ Á¤Ä¡Àû ¸ñÀûÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ¼öÃâ°ü¸® Â÷¿ø¿¡¼ ÀÌ·ïÁö´Â °ÍÀÓÀ» °Á¶ÇÏ´Â ¸íºÐÀ¸·Î »ï¾Ò´Ù.
¾÷°è¿¡¼´Â °æ»ê¼ºÀÌ Á¶±â Çã°¡¸¦ ³»ÁØ ¹è°æ¿¡ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ´ëü °ø±Þ¿øÀ» È®º¸ÇÑ Á¡À» °í·ÁÇÑ °Ô ¾Æ´Ï³Ä´Â °üÃøÀÌ ³ª¿À°í ÀÖ´Ù. ÀÌ ¸Åü´Â ¾Æ¿ï·¯ Áö³´Þ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÇÑ ¼Ò½ÄÅëÀ» ÀοëÇØ ÀϺ» ÀÌ¿ÜÀÇ È¸»ç¿¡¼ ºÒȼö¼Ò(¿¡Äª°¡½º)µµ Å×½ºÆ® ÁßÀ̶ó°í ÀüÇß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ ÃøÀº ÇØ´ç º¸µµ¿¡ ´ëÇØ È®ÀÎÇØÁÖÁö ¾Ê¾ÒÁö¸¸, ÀϺ»ÀÇ ¼öÃâ ¾ïÁ¦¿¡ ´ëóÇϱâ À§ÇØ °ø±Þó¸¦ ´Ùº¯È ÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
ÇÑÆí ÀÌÀç¿ë ºÎȸÀåÀº Áö³´Þ 4ÀÏ ÀϺ»ÀÌ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ 3°³ ÇÙ½É ¼ÒÀç(Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®, ºÒȼö¼Ò, Ç÷ç¿À¸° Æú¸®À̵̹å) ¼öÃâ ±ÔÁ¦¸¦ ½ÃÀÛÇÏÀÚ °ð¹Ù·Î ÇöÁö¿¡ ã¾Æ°¡ ½ÃÀåÀ» Á¡°ËÇÑ µ¥ À̾î ÀÕµû¶ó ÃÖ°í°æ¿µÁøµéÀ» ¼ÒÁýÇØ ´ëÃ¥À» ³íÀÇÇß´Ù.
ÀÌ ºÎȸÀåÀº Áö³ 5ÀÏ ¼öµµ±ÇÀÇ ÇÑ »ç¾÷Àå¿¡¼ ¿¸° »çÀå´Ü ȸÀÇ¿¡¼ "±äÀåÀº Ç쵂 µÎ·Á¿öÇÏÁö ¸»°í Áö±ÝÀÇ À§±â¸¦ ±Øº¹ÇÏÀÚ"°í ´çºÎÇß°í, ÀÌÈÄ ¿Â¾ç¡¤Ãµ¾È¡¤ÆòÅà µî ÁÖ¿ä »ç¾÷ÀåÀ» ¸±·¹ÀÌ·Î ¹æ¹®ÇØ ÇöÀåÀ» Á¡°ËÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¹ÚÁ¤ÀϱâÀÚ comja77@dt.co.kr
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]
11ÀÏ ÀϺ» °æÁ¦Àü¹® ¸Åü '´ÖÄÉÀÌ ¾Æ½Ã¾È ¸®ºä' º¸µµ¿¡ µû¸£¸é »ï¼ºÀüÀÚ´Â º§±â¿¡¿¡ ÀÖ´Â ÇÑ ¾÷ü¿¡¼ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» ±×¸®´Â µ¥ ¾²ÀÌ´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(°¨±¤¾×)¸¦ °ø±Þ¹ÞÀº °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
ÀÌ ¸Åü´Â ¹ÚÀç±Ù ÇѾç´ëÇб³ À¶ÇÕÀüÀÚ°øÇкΠ±³¼ö¸¦ ÀοëÇØ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÀÌ ÈÇй°ÁúÀ» 6~10°³¿ù ´ÜÀ§ ¹°·®À¸·Î ±¸ÀÔÇÏ°í ÀÖ´Ù°í º¸µµÇß´Ù. ¹Ú ±³¼ö´Â ÀÌ ¾÷üÀÇ À̸§À» °ø°³ÇÏÁö ¾Ê¾ÒÁö¸¸, ÀÌ ¸Åü´Â ÀϺ» ±â¾÷ JSR¿Í º§±â¿¡ ¿¬±¸¼¾ÅÍ IMEC°¡ 2016³â ¼³¸³ÇÑ ÇÕÀÛ¹ýÀÎ EUV·¹Áö½ºÆ®ÀÏ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤Çß´Ù. ÀÌ ÇÕÀÛȸ»çÀÇ ÃÖ´ë ÁÖÁÖ´Â JSRÀÇ º§±â¿¡ ÀÚȸ»çÀÎ JSR¸¶ÀÌÅ©·Î´Ù.
´ÖÄÉÀÌ ¾Æ½Ã¾È ¸®ºä´Â JSR »çÁ¤¿¡ ¹àÀº ÇÑ ¼Ò½ÄÅëÀÌ ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ Á¶Ä¡°¡ ¹ßÇ¥µÈ ÈÄÀÎ Áö³ 7¿ù Áß¼ø "¿ì¸®´Â º§±â¿¡ ÇÕÀÛ¹ýÀÎÀ» ÅëÇØ »ï¼º¿¡ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ °ø±ÞÇÒ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù¸é¼, ¹Ú ±³¼öÀÇ ¾ð±ÞÀº ÀÌ ¸»À» µÞ¹ÞħÇÑ´Ù°í ÀüÇß´Ù. ÀÌ ¸Åü´Â ´Ù¸¸ ÀϺ» ±â¾÷ÀÌ Á¦3±¹ÀÇ ½Ã¼³À» ÅëÇØ Çѱ¹¿¡ ±ÔÁ¦ Ç°¸ñÀ» °ø±ÞÇÏ´Â °ÍÀº ÇÕ¹ýÀûÀ̾î¾ß ÇÑ´Ù¸ç ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ °¨½Ã¸¦ ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ´Ù°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ÀϺ» °æÁ¦»ê¾÷¼º(°æ»ê¼º)ÀÌ Áö³´Þ 4ÀϺÎÅÍ Çѱ¹¿¡ ´ëÇÑ 1Â÷ ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ °¡ÇÑ ÀÌÈÄ ±ÔÁ¦ ´ë»óÀÌ µÈ 3°³ °¡¿îµ¥ ù ¹ø°·Î Çã°¡°¡ ³ª¿Â Ç°¸ñÀÌ´Ù. ÀÌ¿Í °ü·Ã, °æ»ê¼ºÀº Áö³ 8ÀÏ °³º° ¼öÃâ ½ÅûÀÌ µé¾î¿Â »ï¼ºÀüÀÚ¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâ°Ç¿¡ ´ëÇØ ±º»çÀü¿ë ¿ì·Á°¡ ¾ø´Ù°í ÆÇ´ÜÇØ Åë»ó ½É»ç ±â°£(90ÀÏ)À» ´ëÆø ´ÜÃàÇØ ÇÑ ´Þ¿© ¸¸¿¡ ½ÂÀÎÇß´Ù°í ÀÌ·ÊÀûÀ¸·Î ¹ßÇ¥Çß¾ú´Ù.
°æ»ê¼ºÀº ¿¹»óº¸´Ù ºü¸¥ Çã°¡¸¦ ³»ÁÖ¸é¼ ¿ä°ÇÀÌ ¸ÂÀ¸¸é ±ÔÁ¤¿¡ µû¶ó ¼öÃâ ½ÂÀÎÀ» °è¼Ó ³»ÁÙ °ÍÀ̶ó¸ç ÀϺ»ÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦°¡ Á¤Ä¡Àû ¸ñÀûÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ¼öÃâ°ü¸® Â÷¿ø¿¡¼ ÀÌ·ïÁö´Â °ÍÀÓÀ» °Á¶ÇÏ´Â ¸íºÐÀ¸·Î »ï¾Ò´Ù.
¾÷°è¿¡¼´Â °æ»ê¼ºÀÌ Á¶±â Çã°¡¸¦ ³»ÁØ ¹è°æ¿¡ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ´ëü °ø±Þ¿øÀ» È®º¸ÇÑ Á¡À» °í·ÁÇÑ °Ô ¾Æ´Ï³Ä´Â °üÃøÀÌ ³ª¿À°í ÀÖ´Ù. ÀÌ ¸Åü´Â ¾Æ¿ï·¯ Áö³´Þ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÇÑ ¼Ò½ÄÅëÀ» ÀοëÇØ ÀϺ» ÀÌ¿ÜÀÇ È¸»ç¿¡¼ ºÒȼö¼Ò(¿¡Äª°¡½º)µµ Å×½ºÆ® ÁßÀ̶ó°í ÀüÇß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ ÃøÀº ÇØ´ç º¸µµ¿¡ ´ëÇØ È®ÀÎÇØÁÖÁö ¾Ê¾ÒÁö¸¸, ÀϺ»ÀÇ ¼öÃâ ¾ïÁ¦¿¡ ´ëóÇϱâ À§ÇØ °ø±Þó¸¦ ´Ùº¯È ÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
ÇÑÆí ÀÌÀç¿ë ºÎȸÀåÀº Áö³´Þ 4ÀÏ ÀϺ»ÀÌ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ 3°³ ÇÙ½É ¼ÒÀç(Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®, ºÒȼö¼Ò, Ç÷ç¿À¸° Æú¸®À̵̹å) ¼öÃâ ±ÔÁ¦¸¦ ½ÃÀÛÇÏÀÚ °ð¹Ù·Î ÇöÁö¿¡ ã¾Æ°¡ ½ÃÀåÀ» Á¡°ËÇÑ µ¥ À̾î ÀÕµû¶ó ÃÖ°í°æ¿µÁøµéÀ» ¼ÒÁýÇØ ´ëÃ¥À» ³íÀÇÇß´Ù.
ÀÌ ºÎȸÀåÀº Áö³ 5ÀÏ ¼öµµ±ÇÀÇ ÇÑ »ç¾÷Àå¿¡¼ ¿¸° »çÀå´Ü ȸÀÇ¿¡¼ "±äÀåÀº Ç쵂 µÎ·Á¿öÇÏÁö ¸»°í Áö±ÝÀÇ À§±â¸¦ ±Øº¹ÇÏÀÚ"°í ´çºÎÇß°í, ÀÌÈÄ ¿Â¾ç¡¤Ãµ¾È¡¤ÆòÅà µî ÁÖ¿ä »ç¾÷ÀåÀ» ¸±·¹ÀÌ·Î ¹æ¹®ÇØ ÇöÀåÀ» Á¡°ËÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¹ÚÁ¤ÀϱâÀÚ comja77@dt.co.kr
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]