¸Þ´º¿­±â °Ë»ö¿­±â

"5³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® ÇÑÆÇ ºÙÀÚ"¡¦ »ï¼º, TSMC¿Í Óްݵ¹ ¿¹°í

¹ÚÁ¤ÀÏ ±âÀÚ   comja77@
ÀÔ·Â 2020-05-21 19:14

ÆòÅðøÀå, È­¼º ÀÌÀº EUVÀü¿ë
7³ª³ë ÀÌÇÏ »ý»ê °¡Æĸ£°Ô ´Ãµí
Ãʹ̼¼ ÆÄ¿îµå¸® '±Ô¸ðÀÇ °æÁ¦'
1À§ TSMC¿Í º»°Ý ´ë°á ±¸µµ
Ú¸¡¤ñé ÆбÇÀüÀï Àå±âÈ­ º¯¼ö


"5³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® ÇÑÆÇ ºÙÀÚ"¡¦ »ï¼º, TSMC¿Í Óްݵ¹ ¿¹°í



[µðÁöÅПÀÓ½º ¹ÚÁ¤ÀÏ ±âÀÚ] "ÃÊ°ÝÂ÷¸¦ ÁöÅ°°Ú´Ù."
°æ±âµµ ÆòÅÿ¡ "ÇöÁ¸ÇÏ´Â °¡Àå ¾Õ¼± 5³ª³ë(§¬) ÀÌÇÏ ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) ¶óÀÎÀ» ±¸ÃàÇÏ°Ú´Ù"´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ 21ÀÏ ¹ßÇ¥´Â ¹Ù·Î ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼¸¦ ÃÊ°ÝÂ÷·Î ¼±µµÇÏ°Ú´Ù´Â ¼±¾ð¿¡ ´Ù¸§ ¾Æ´Ï´Ù. Ãʹ̼¼ °øÁ¤±â¼ú ¸®´õ½ÊÀ» ÇÑÃþ °­È­ÇØ ¼¼°è ½ÃÀåÀÇ Àý¹Ý ÀÌ»óÀ» Â÷ÁöÇÏ´Â ´ë¸¸ TSMC°ú ÀÚ¿õÀ» °Ü·ç°Ú´Ù´Â µµÀüÀåÀ» ´øÁø °ÍÀÌ´Ù.

¡Þ È­¼º¿¡ À̾î ÆòÅñîÁö¡¦Ãʹ̼¼ ÆÄ¿îµå¸® '±Ô¸ðÀÇ °æÁ¦' ±¸Ãà= »ï¼ºÀüÀÚ´Â 2019³â È­¼º S3 ¶óÀο¡¼­ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î EUV(±ØÀڿܼ±) ±â¹Ý 7³ª³ë ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù. Áö³­ 2¿ù¿¡´Â EUV Àü¿ë ¶óÀÎÀÎ È­¼º V1À» º»°Ý °¡µ¿, »ý»ê ±Ô¸ð¸¦ ´Ã·È´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ ÃøÀº V1 ¶óÀÎÀÇ °¡µ¿À¸·Î ¿ÃÇØ ¸» 7³ª³ë ÀÌÇÏ Á¦Ç° »ý»ê ±Ô¸ð¸¦ Àü³â´ëºñ ¾à 3¹è ÀÌ»ó ´Ã °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøÇÏ°í ÀÖ´Ù.

¿À´Â 2021³â ÆòÅà ¶óÀαîÁö °¡µ¿ÇÏ¸é »ý»ê±Ô¸ð´Â °¡Æĸ¥ Áõ°¡¼¼¸¦ º¸ÀÏ Àü¸ÁÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ºñ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ºÎ¹® ¸ÅÃâÀº ÀÛ³â 1ºÐ±â 3Á¶¿ø¿¡¼­ ¿Ã 1ºÐ±â 3Á¶5000¾ï¿øÀ¸·Î Áõ°¡¼¼¸¦ À̾°í ÀÖ´Ù. ÀÌ Áõ°¡¼¼¿¡ 'ÆòÅà °¡¼Óµµ'°¡ ºÙ´Â °ÍÀÌ´Ù.

Áö³­ 2019³â 4¿ù ù EUV °øÁ¤ Àû¿ëÀÇ 7³ª³ë Á¦Ç° ÃâÇϸ¦ ½ÃÀÛÀÌ·¡ ´«ºÎ½Å ¹ßÀü ¼Óµµ´Ù. Áö³­ 2019³â ÇϹݱâ 6³ª³ë Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇß°í 5³ª³ë´Â ¿ÃÇØ ÇϹݱ⿡ È­¼º¿¡¼­ ¸ÕÀú ¾ç»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. °ü·Ã °øÁ¤ °³¹ßÀº 2019³â »ó¹Ý±â ¿Ï¼ºÇß´Ù. 5³ª³ë´Â 2021³â ÆòÅà ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀο¡¼­µµ ÁÖ·ÂÀ¸·Î »ý»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

¿©±â¿¡ Â÷¼¼´ë Æ®·£Áö½ºÅÍ ±¸Á¶ÀÎ GAA(Gate-All-Around)ÀÇ ¿øõ ÇÙ½É ±â¼úÀ» °³¹ßÇØ 3³ª³ë °øÁ¤¿¡ Àû¿ëÇÏ°Ú´Ù´Â °èȹµµ ³»³õ¾Ò´Ù. EUV¿¡ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ µ¶ÀÚÀûÀÎ ¼³°è °æÀï·ÂÀ» ´õÇØ Ãʹ̼¼°øÁ¤ ½ÃÀå¿¡¼­ ¾÷°è ÃÖ°íÀÇ À§Ä¡¸¦ Â÷ÁöÇÏ°Ú´Ù´Â Àü·«ÀÌ´Ù. EUV¶õ ±ØÀڿܼ±À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ÀÇ È¸·Î¼±À» ±×¸®´Â ±â¼ú·Î, ±âÁ¸ ºÒÈ­¾Æ¸£°ï(ArF) ±¤¿ø°ú ºñ±³ÇØ ÆÄÀåÀÇ ±æÀÌ°¡ 14ºÐÀÇ 1 ¹Ì¸¸À¸·Î ª¾Æ º¸´Ù ¾ãÀº Ãʹ̼¼°øÁ¤À» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ȸ·Î¼±ÀÌ ¾ãÀ» ¼ö·Ï Á¦ÇÑµÈ °ø°£¿¡ ´õ ¸¹Àº µ¥ÀÌÅÍ¿Í ·ÎÁ÷À» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¸¸Å­ ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛÀÇ ÇÙ½É °æÀï·ÂÀ¸·Î ²ÅÈù´Ù.

°ú°Å¿¡´Â 10³ª³ë ÀÌÇÏ ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¸¸µé±â À§ÇØ ArF ±¤¿øÀ» ¿©·¯¹ø °ãÃÄ ±×¸®´Â ¸ÖƼ ÆÐÅÍ´× °øÁ¤ÀÌ ºÒ°¡ÇÇÇß´Ù. »ï¼ºÀº EUV¸¦ ÀÌ¿ë, ÀÌ °úÁ¤À» Å« ÆøÀ¸·Î ÁÙÀÌ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù.


¡ÞTSMC¿Í º»°Ý °æÀï µ¹ÀÔ, Ú¸¡¤ñé ¹«¿ªÀüÀï µî º¯¼ö= »ï¼ºÀüÀÚÀÇ À̹ø ÆòÅà EUV ¶óÀÎ ±¸ÃàÀº 5³ª³ë ÀÌÇÏ ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡¼­ '±Ô¸ðÀÇ °æÁ¦'¸¦ º»°ÝÀûÀ¸·Î ±¸ÃàÇß´Ù´Â Á¡¿¡¼­ Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù. ±×·± ¸¸Å­ ¾÷°è 1À§ÀÎ TSMC¿ÍÀÇ °æÀïÀº Áö±ÝºÎÅÍ ½ÃÀÛÀ̶ó°í º¼ ¼öµµ ÀÖ´Ù.

½ÃÀåÁ¶»ç¾÷ü Æ®·»µåÆ÷½º¿¡ µû¸£¸é ¿Ã 1ºÐ±â ±âÁØ ¼¼°è ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå Á¡À¯À²Àº ´ë¸¸ ¾÷üÀÎ TSMC°¡ 54.1%·Î ¾ÐµµÀûÀÎ 1À§°í, »ï¼ºÀüÀÚ°¡ 15.9%·Î ±× µÚ¸¦ ÂÑ°í ÀÖ´Ù. ¼øÀ§´Â ÇÑ °è´Ü Â÷ÀÌÁö¸¸, TSMC´Â ÆÄ¿îµå¸® Àü¹® ¾÷ü°í ¿ö³« Á¡À¯À² Â÷ÀÌ°¡ Ä¿ ¶óÀ̹ú °ü°è·Î º¸±â´Â ¾î·Á¿ü´Ù.

ÇÏÁö¸¸ ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀÌ Áö³­ÇØ 4¿ù 133Á¶¿ø ÅõÀÚ¿Í 1¸¸5000¸í °í¿ë âÃâ µîÀ¸·Î 2030³â±îÁö ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ±Û·Î¹ú 1À§¸¦ ´Þ¼ºÇÏ°Ú´Ù´Â '¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030'À» ¼±Æ÷ÇÑ µÚ, »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷¿¡¼­ ÀÇ¹Ì ÀÖ´Â ¼ºÀåÀ» Áö¼ÓÇÏ°í ÀÖ´Ù. TSMCÀÇ °æ¿ì 2³ª³ë °øÁ¤À» °³¹ß ÁßÀÌ°í ¿ÃÇغÎÅÍ 5³ª³ë °øÁ¤ »ý»ê¿¡ µ¹ÀÔÇÒ °èȹÀ̶ó°í ¹àÈù ¹Ù ÀÖ¾î, »ï¼ºÀüÀÚ¿Í °ÅÀÇ ºñ½ÁÇÑ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ¼ö¼øÀ» ¹â°í ÀÖ´Ù.

ÀÌ·± °¡¿îµ¥ ¹Ì¡¤Áß ¹«¿ªÀüÀïÀÇ ºÒ¶ËÀÌ TSMC µî ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è¿¡ Æ¢°í ÀÖ´Â Á¡Àº »ï¼ºÀüÀÚ¿¡´Â À§±âÀÌÀÚ ±âȸ·Î ²ÅÈù´Ù. TSMC°¡ Æ®·³ÇÁ ÇàÁ¤ºÎÀÇ ¾Ð¹Ú¿¡ ¹Ì±¹ ³» °øÀå ÅõÀÚ¸¦ ¼±¾ðÇß°í, ¹Ì¡¤Áß °¥µîÀÇ ÇÙ½ÉÀÎ È­¿þÀÌÀÇ ÆÄ¿îµå¸® ¼öÁÖ¸¦ ÇÏÁö ¾Ê±â·Î Çß´Ù´Â ¼Ò¹®µµ µé·Á¿À°í ÀÖ´Ù. À۳⠸» ±âÁØÀ¸·Î TSMCÀÇ Àüü ¸ÅÃâ¿¡¼­ È­¿þÀÌ°¡ Â÷ÁöÇÏ´Â ºñÁßÀº 14%¿¡ À̸¥´Ù.

¡ÞÄڷγª19¿¡µµ Ä÷ÄÄ µî ±Û·Î¹ú Çù¾÷ È®´ë= »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃÖ÷´Ü °øÁ¤ ±â¼úÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ½º¸¶Æ®Æù¿ë ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÇÁ·Î¼¼¼­(AP) ¼¼°è 1À§ÀÎ Ä÷ÄÄ°ú Áß±¹ ÃÖ´ë °Ë»ö¿£Áø ¾÷üÀÎ ¹ÙÀ̵Πµî ´ëÇü ÆÕ¸®½º(¹ÝµµÃ¼ ¼³°èÀü¹®) ¾÷ü¿Í Çù·ÂÀ» ÃßÁøÇÏ¸ç ¸ð¹ÙÀϺÎÅÍ ½´ÆÛÄÄÇ»ÅÍ ºÐ¾ß±îÁö ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ ¿µ¿ªÀ» È®´ëÇØ ³ª°¡°í ÀÖ´Ù.

¶Ç Áö³­ 3¿ù¿¡´Â µ¶ÀÏ ¿¤¸ð½º(Elmos)¿Íµµ Çù·ÂÇϸç À¯·´ Â÷·®¿ë ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡µµ º»°ÝÀûÀÎ ÁøÃâÀ» ¼±¾ðÇÏ´Â µî ºñ¸Þ¸ð¸® »ç¾÷ ¿µ¿ªÀ» ³ÐÈ÷°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ ÃøÀº Äڷγª19 »çÅ¿¡µµ ÁÖ¿ä ÆÕ¸®½º ¾÷ü¿Í ÀüÈ­¡¤È­»óȸÀÇ µî ºñ´ë¸é ¹æ½ÄÀ¸·Î ±ä¹ÐÇÏ°Ô Çù·ÂÇÏ¸ç °í°´Áö¿øÀ» À̾°í ÀÖ´Ù°í ÀüÇß´Ù.

¹ÚÁ¤ÀϱâÀÚ comja77@dt.co.kr



[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]