È¿¼ºÈÇÐÀÌ Æ¯¼ö°¡½º »ç¾÷ ¸Å°¢°ú °ü·ÃÇØ ½ºÆ½Àκ£½ºÆ®¸ÕÆ®¿Í ¾ÆÀÌ¿¥¿¥ÇÁ¶óÀ̺ø¿¡ÄõƼ(IMM PE) ÄÁ¼Ò½Ã¾ö¿¡ ´ëÇÑ ¿ì¼±Çù»ó´ë»óÀÚ ¼±Á¤À» öȸÇß´Ù°í 20ÀÏ °ø½ÃÇß´Ù.
È¿¼ºÈÇÐÀº "¿ì¼±Çù»ó´ë»óÀÚ¿Í Æ¯¼ö°¡½º »ç¾÷ ¸Å°¢ °è¾à ü°áÀ» À§ÇÑ ÇùÀǸ¦ ÁøÇàÇßÁö¸¸ »óÈ£ ÇÕÀÇ¿¡ À̸£Áö ¸øÇØ ¿ì¼±Çù»ó´ë»óÀÚ ¼±Á¤À» öȸÇß´Ù"¸ç "Ư¼ö°¡½º»ç¾÷ ¸Å°¢À» Áö¼Ó ÃßÁøÇϱâ À§ÇØ ´Ù¸¥ ÅõÀÚÀÚµé°ú ÇùÀǸ¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
È¿¼ºÈÇРƯ¼ö°¡½º »ç¾÷ºÎ´Â ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶°øÁ¤ µî¿¡¼ À̹°Áú ¼¼Ã´¿¡ ¾²ÀÌ´Â »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3) µîÀ» »ý»êÇÑ´Ù. ¿¬»ê 8000Åæ ±Ô¸ð »ý»ê ¼³ºñ¸¦ °®ÃèÀ¸¸ç, »ý»ê·® ±âÁØÀ¸·Î ¼¼°è 1À§ SK½ºÆä¼ÈƼ¿Í 2À§ Áß±¹ Æ丯¿¡ À̾î 3À§´Ù.¹ÚÇѳª±âÀÚ park27@dt.co.kr
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]
È¿¼ºÈÇÐÀº "¿ì¼±Çù»ó´ë»óÀÚ¿Í Æ¯¼ö°¡½º »ç¾÷ ¸Å°¢ °è¾à ü°áÀ» À§ÇÑ ÇùÀǸ¦ ÁøÇàÇßÁö¸¸ »óÈ£ ÇÕÀÇ¿¡ À̸£Áö ¸øÇØ ¿ì¼±Çù»ó´ë»óÀÚ ¼±Á¤À» öȸÇß´Ù"¸ç "Ư¼ö°¡½º»ç¾÷ ¸Å°¢À» Áö¼Ó ÃßÁøÇϱâ À§ÇØ ´Ù¸¥ ÅõÀÚÀÚµé°ú ÇùÀǸ¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
È¿¼ºÈÇРƯ¼ö°¡½º »ç¾÷ºÎ´Â ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶°øÁ¤ µî¿¡¼ À̹°Áú ¼¼Ã´¿¡ ¾²ÀÌ´Â »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3) µîÀ» »ý»êÇÑ´Ù. ¿¬»ê 8000Åæ ±Ô¸ð »ý»ê ¼³ºñ¸¦ °®ÃèÀ¸¸ç, »ý»ê·® ±âÁØÀ¸·Î ¼¼°è 1À§ SK½ºÆä¼ÈƼ¿Í 2À§ Áß±¹ Æ丯¿¡ À̾î 3À§´Ù.¹ÚÇѳª±âÀÚ park27@dt.co.kr
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]